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ステルスダイシング

レーザーを用いて、内部加工を行いウェハを高品質に分割する新しいダイシング方法です。

犠牲層ドライ
エッチング

極小ギャップを持つ微小構造体の形成を可能にした技術です。

シリコン深堀り加工

フィードスルー技術はMEMSデバイスを実現する手段として注目されています。

金粒子封止・
接合サービス

耐熱性、導電性ともに高く、
接合界面の対応性も良く、、
接合・封止材料として最適。

株式会社メムス・コア

〒981-3206
宮城県仙台市泉区明通3-11-1

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